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发展了利用扫描电子显微镜（SEM）与电子背散射衍射系统（EBSD）对微晶颗粒空间取向进行表征的新方法，对以气相氧化方法制备的纳米晶ZnO颗粒的生长方向进行了测量。在样品台两个不同的倾转角度下采集两幅ZnO颗粒图像，对这两幅图做图像分析，测量各枝晶臂在样品台不同倾转角时的投影角度，可以确定Zn0颗粒枝晶臂的生长方向在样品台坐标系中的空间取向，并获得各枝晶臂的长度扣夹角。由EBSD确定ZnO颗粒对应的枝晶臂晶格坐标与样品台坐标之间的空间几何关系。并根据坐标变换关系可确定枝晶臂空间生长方向的晶体学取向是沿[00