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影响抛光粉抛蚀率的因素
影响抛光粉抛蚀率的因素
来源 :有色金属:冶炼部分 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tklyzh1
【摘 要】
:
以抛蚀率作为评价抛光粉性能的指标。详细考察了铈基抛光粉的浆料浓度、抛光时间、抛光粉的灼烧温度、抛光体系的温度对ZF6型光学玻璃抛蚀率的影响。
【作 者】
:
李颖毅
陈伟凡
【机 构】
:
南昌大学材料科学与工程学院
【出 处】
:
有色金属:冶炼部分
【发表日期】
:
2011年9期
【关键词】
:
抛光粉
抛蚀率
CEO2
化学机械抛光
Polishing powder
Removal rate
CeO2
Chemically mechanical
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助项目(20161002), 江西省自然科学基金资助项目(2008GZC0021)
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以抛蚀率作为评价抛光粉性能的指标。详细考察了铈基抛光粉的浆料浓度、抛光时间、抛光粉的灼烧温度、抛光体系的温度对ZF6型光学玻璃抛蚀率的影响。
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