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为提高光电极值法膜厚监控质量，对微弱光电探测信号设计一套优化的电路处理和数字处理系统。基于双光束镀膜监控思想，提出三级模拟放大电路、双锁相对称放大电路、综合抗干扰技术、数字除法、防脉冲干扰数字滤波、数码显示线性化、剔除奇异数据和ΔR值极值判断等信号综合处理方案。实验表明：电路的测试路输出和参考路输出信噪比均大于500，漂移率≤7％／h；数码显示对反射率响应的灵敏度在整个反射率范围内均比较大，数码显示值的线性回归系数为0．979，低反射率膜的反射率显示分辨极限为0．02％；镀膜中极值点监控信号的不确定度至少