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介绍了一种薄膜体声波谐振器和它的制备流程。该谐振器采用氧化锌压电薄膜作为压电材料，通过从硅片背部体刻蚀硅衬底的方法得到谐振器的支持层。为了避免残余应力引起的支持层起皱现象，采用氮化硅／二氧化硅／氮化硅复合膜作为支持层。采用直流磁控溅射的方法制备氧化锌压电薄膜，X射线衍射结果显示，氧化锌压电薄膜C轴择优取向明显，衍射峰半高宽为0．2273°，显示出较好的结晶质量；扫描电镜观察到氧化锌垂直于薄膜表面的柱形晶粒结构，薄膜表面平整、致密。采用HP8753D射频网络分析仪对该薄膜体声波谐振器样品进行了测试