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<正> 目前有些零件尺寸小(小到几十微米),精度高(尺寸精度为微米级,形状精度为亚微米级),表面粗糙度小(Ra0.04即12),形状结构复杂,且薄壁,因此加工难度大。要加工这些零件,我们不但需要有先进的工艺方法,而且有超精度切削机床的设备。超精度切削机床是由普通精度切削机床精化而成的。下面我们对济南第一机床厂制造的CM6125车床进行精化,并使用其主要精度指标达到:主轴回转精度为0.3μm;导轨直线运动精度为0.5μm/mm,微进给量为0.1μm:微进给精度为0.2μm。首先是主轴系的精化主轴几何精度直接影响机床回转