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抛光垫是化学机械抛光中的重要组成部分，其磨损均匀性能是影响加工后工件平面度的重要因素。本文比较了具有优化凸起图案的固结磨料抛光垫、凸起均布的固结磨料抛光垫和聚氨酯抛光垫的研磨抛光性能，结果表明：利用优化凸起图案的固结磨料抛光垫加工，可以得到更加优异且稳定的表面质量，材料去除效率远高于聚氨脂抛光垫游离磨料的加工方式。