上海新阳自研 KrF(248nm)厚膜光刻胶产品取得第一笔订单

来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户：flareleaf

【摘要】

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日前,上海新阳发布公告,宣布其自主研发的KrF(248nm)厚膜光刻胶产品已通过客户认证,并成功取得第一笔订单。上海新阳表示,KrF(248nm)厚膜光刻胶产品的开发和产业化是其第三大核心技术-- -光刻技术的重要方向之一,本次产品认证的通过及订单的取得,标志着“KrF(248nm)厚膜光刻胶产品的开发和产业化”取得了成功,为其在光刻技术领域目标的全面完成奠定了坚实基础。

【出处】

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中国集成电路

【发表日期】

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2021年08期

【关键词】

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光刻技术光刻胶厚膜新阳产品认证产业化核心技术订单

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