【摘 要】
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从氦质谱检漏仪的检漏过程出发,通过实验讨论氦质谱检仪的清氦方式,对氦质谱检漏增加氮气清洗装置的改进,并讨论仪器的清氦过程。
Based on the leak testing process of he
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从氦质谱检漏仪的检漏过程出发,通过实验讨论氦质谱检仪的清氦方式,对氦质谱检漏增加氮气清洗装置的改进,并讨论仪器的清氦过程。
Based on the leak testing process of helium mass spectrometer, the helium mass spectrometer was empirically discussed to improve the helium mass spectrometer leak detection, to improve the nitrogen purifier, and to discuss the clear helium process.
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