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阵列式半实物仿真系统是一种先进的制导武器抗干扰试验半实物仿真系统，在制导武器系统的研制开发中发挥着重要作用。目标位置精度是阵列式半实物仿真系统的关键指标。文中从基础建设、钢结构、天线阵列、微波链路、校准系统及相互关联影响等方面对引起阵列式半实物仿真系统目标精度误差因素的种类及产生的误差进行理论建模，以便于分析系统误差，并提出了相应的改进措施。