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利用聚酰亚胺（PI）优良的机械、绝缘、耐热等性能，设计出基于PI膜的磁控光开关．给出合理的线圈宽度与间隙宽度，提出了八边形的线圈绕组结构。计算得出PI膜悬臂梁光开关驱动电压与工作距离的关系，并对悬臂梁长度、宽度、厚度进行优化．在驱动电压为2V时，自由端位移达到2mm．
聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关的优化设计
【摘 要】
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利用聚酰亚胺（PI）优良的机械、绝缘、耐热等性能，设计出基于PI膜的磁控光开关．给出合理的线圈宽度与间隙宽度，提出了八边形的线圈绕组结构。计算得出PI膜悬臂梁光开关驱动电压与工
【机 构】
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应用光学国家重点实验室、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2006年05A期
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