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本文指出了在棱镜耦合状态下降低平板波导基模截止厚度的途径,用文中提出的准对称波导法测量了薄的MgO膜的折射率和厚度,并给出了测量结果.
用准对称波导法测量薄膜参数
【摘 要】
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本文指出了在棱镜耦合状态下降低平板波导基模截止厚度的途径,用文中提出的准对称波导法测量了薄的MgO膜的折射率和厚度,并给出了测量结果.
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1988年8期
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