【摘 要】
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物面微小变形测试在电子制造、逆工程等领域具有重要意义.本文一改传统机械式相移结构,设计了一种全新的投影莫尔三维轮廓投影成像测试系统.首次利用计算机实时控制变光源实
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物面微小变形测试在电子制造、逆工程等领域具有重要意义.本文一改传统机械式相移结构,设计了一种全新的投影莫尔三维轮廓投影成像测试系统.首次利用计算机实时控制变光源实时控制相移,大大提高了系统测试速度(全场测量:4～8sec.).采用垂直投影,双CCD倾斜成像机构,提高了光场的均匀性和可测物范围(测量面积最大可为300300mm2).另外该系统还具有光强照明均匀性好等优点.系统测量精度可达40μm.文中详细分析了系统关键技术,并给出了具体实验结果.结果表明系统的设计原理是成功的.
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