【摘 要】
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针对线上工艺的不同情况，如量产产品工艺监控、工艺改进的验证或者线上异常情况发生时的风险评估，仅进行常规的参数估计和寿命推算是不够的，需要对电迁移加速寿命测试的数据进一
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针对线上工艺的不同情况，如量产产品工艺监控、工艺改进的验证或者线上异常情况发生时的风险评估，仅进行常规的参数估计和寿命推算是不够的，需要对电迁移加速寿命测试的数据进一步分析。本文结合统计的方法，着重研究通过对X-MR图引入监控因子这个参数形成双控制线管制图来对于量产产品工艺稳定性进行评估，及早发现问题；通过引入T0．1的95％的置信区间来比较子批与母批（基线），从而对工艺改进和线上异常发生时更有效的进行风险评估。
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