大角度激光干涉测角方法研究

来源 :北京机械工业学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:scarllie
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传统激光干涉测角方法,大多采用迈克尔逊干涉仪光路或其变形,将角度测量转变为光程测量。但传统干涉测角方法测角范围通常很小,一般在±5°之间。后来虽然做了改进,但测角范围也只到95°(-45°~+50°)。在分析了传统干涉测角方法优缺点的基础上提出了一种新的干涉测角方法,在不降低系统灵敏度的前提下,测角范围极大提高,可到180°(±90°)。 Traditional laser interferometry goniometry, mostly using Michelson interferometer optical path or its deformation, the angle measurement into optical path measurement. However, the traditional interferometric goniometry method usually has a small range of goniometry, generally between ± 5 °. Although later improvements were made, the range of the angle measurement was only 95 ° (-45 ° to + 50 °). Based on the analysis of the advantages and disadvantages of the traditional interferometric method, a new interferometric method is proposed. The range of the measured angle can be greatly improved up to 180 ° (± 90 °) without reducing the system sensitivity.
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