【摘 要】
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《集成电路工艺》是电子科学与技术专业的必修课,是承上启下的一门课程。通过本门课程的学习,使学生对半导体集成电路制造工艺及原理有一个较为完整和系统的认识,并具有一定
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《集成电路工艺》是电子科学与技术专业的必修课,是承上启下的一门课程。通过本门课程的学习,使学生对半导体集成电路制造工艺及原理有一个较为完整和系统的认识,并具有一定工艺分析和设计以及解决工艺问题和提高产品质量的能力,但由于本课程所需的集成电路工艺线建设成本太高,无法开设实验课程。于是,特提出在《集成电路工艺》课程中采用Silvaco TCAD软件进行集成电路工艺仿真,从而培养学生工艺分析、设计和解决工艺问题的能力。
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