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在微波谐振腔微扰测量流动湿蒸汽湿度的方法中,谐振式湿度测量传感器是测量装置的关键部件之一.建立了传感器的高频结构仿真模型和汽液两相流场数值模型,并对谐振式传感器进行了电磁特性和气动特性分析,仿真表明:保证测量精度的关键因素是传感器两端网结构和气流入口处结构形状.对取样误差进行了分析,给出了修正公式.通过仿真,本文优化设计的谐振式湿度测量传感器具有良好的高频电磁性能和气动性能.实际应用取得了良好的效果.图5参12