【摘 要】
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用纯Co片做阳极,研究在纯Cu基体上采用高频（20~140 kHz）脉冲电流获得的CoFe合金薄膜组织和性能与频率的关系.EDS结果表明,镀层中Fe的原子分数随频率提高呈下降趋势.采用XRD分析
【机 构】
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北京科技大学新金属材料国家重点实验室,中国科学院国际材料物理中心,中国工程物理研究院表面物理与化学国家重点实验室
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用纯Co片做阳极,研究在纯Cu基体上采用高频（20~140 kHz）脉冲电流获得的CoFe合金薄膜组织和性能与频率的关系.EDS结果表明,镀层中Fe的原子分数随频率提高呈下降趋势.采用XRD分析CoFe合金的微观结构,发现提高频率,未知相的39.2°峰与bcc相的44.9°峰相对强度显著增加,结果使镀层晶粒细化,残余压应力减小,显微硬度下降.SEM和振动样品磁强计（VSM）结果进一步表明,提高脉冲频率可以增加沉积速率,使镀层变厚,饱和磁矩增加.
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