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为了提高建筑结构中的位移测量准确度,介绍了一种基于位置敏感元件的激光非接触位移传感器,对传感器的设计进行了分析。研制的传感器的主要技术参数为工作距离为0.4～7m,位移幅值5mm,测量分辨力1～7μm,准确度10μm,频率响应为0～100Hz。
非接触相对位移传感器
【摘 要】
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为了提高建筑结构中的位移测量准确度,介绍了一种基于位置敏感元件的激光非接触位移传感器,对传感器的设计进行了分析。研制的传感器的主要技术参数为工作距离为0.4～7m,位移幅值5mm,测量分辨力1～7μm,准确度10μm,频率响应为0～100Hz。
【机 构】
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信息产业部电子第49研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2002年12期
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