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与硅相关的系列国家标准11）GB/T1551-2009《硅单晶电阻率测定方法》。规定了用直排四探针法测量硅单晶电阻率的方法。适用于测量试样厚度和从试样边缘与任一探针端点的最近距离二者均大于探针间距的4倍的硅单晶体电阻率以及测量直径大于探针间距10倍、厚度小于探针间距4倍的硅单晶圆片的电阻率。
化工标准化动态
【摘 要】
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与硅相关的系列国家标准11）GB/T1551-2009《硅单晶电阻率测定方法》。规定了用直排四探针法测量硅单晶电阻率的方法。适用于测量试样厚度和从试样边缘与任一探针端点的最近距
【出 处】
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化工生产与技术
【发表日期】
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2011年1期
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