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本文扼要介绍微电子机械系统和微光学电子机械系统的功能、主要产品的特性、可应用领域及未来发展趋势。
微电子机械系统／微光学电子机械系统的特性及应用
【摘 要】
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本文扼要介绍微电子机械系统和微光学电子机械系统的功能、主要产品的特性、可应用领域及未来发展趋势。
【机 构】
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武警工程学院
【出 处】
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电子元器件应用
【发表日期】
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2001年4期
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