【摘 要】
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为证明六端口网络可用于体声波（BAW）传感器读出电路,对包含薄膜体声波谐振器（FBAR）和微带六端口网络的BAW传感器最小系统建立等效电路模型。在ADS软件中对FBAR建立Mason等效电路
【机 构】
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西南科技大学信息工程学院,中国工程物理研究院电子工程研究所,重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
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为证明六端口网络可用于体声波（BAW）传感器读出电路,对包含薄膜体声波谐振器（FBAR）和微带六端口网络的BAW传感器最小系统建立等效电路模型。在ADS软件中对FBAR建立Mason等效电路模型和对微带六端口网络建立等效电路模型。微带六端口网络的端口1连接射频源,端口2与FBAR相连,其他4个端口分别连接4个50Ω的电阻用于读取功率;在Matlab软件中分别使用根心解法和平均解法对FBAR的反射系数进行求解,解得两条反射系数与频率曲线,分析得到了两种反射系数近似计算方法的优劣,并分析了六端口网络工作频带的
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