不同结构多层PZT薄膜的制备及性能特性研究

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hf4057

【摘要】

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采用相同的工艺分别制备了锆钛酸铅（PZT,r（Zr）/r（Ti）=52/48）与钛酸铅（PT）两种前驱体,并通过溶胶-凝胶（Sol-Gel）法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上分别制备了PZT,PT/PZT-PZT/PT,PT/PZT/-/PZT/PT 3

【作者】

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郑俊华谭秋林唐力程熊继军

【机构】

：

中北大学电子测试技术国家重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室

【出处】

：

压电与声光

【发表日期】

：

2016年4期

【关键词】

：

多层锆钛酸铅/钛酸铅(PT/PZT)薄膜不同结构压电材料溶胶-凝胶法介电性铁电性 Multilayer PT/PZT thin films diffe

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采用相同的工艺分别制备了锆钛酸铅（PZT,r（Zr）/r（Ti）=52/48）与钛酸铅（PT）两种前驱体,并通过溶胶-凝胶（Sol-Gel）法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上分别制备了PZT,PT/PZT-PZT/PT,PT/PZT/-/PZT/PT 3种不同结构的多层PZT薄膜。利用场发射扫描电子显微镜（FESEM）测试了薄膜的结构,选用XRD分析了薄膜的结晶取向,采用阻抗分析仪测试了薄膜的介电常数、介电损耗及电压-电容曲线,使用铁电性能测试系统测试了薄膜的铁电性。实验结果表明,PT/PZT/-/PZ

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