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薄膜热电偶是采用高真空下离子溅射法制成的。从理论上对它的响应时间常数及动态测温误差进行了分析,并附有初步实验结果。从理论分析和实验结果看来,薄膜热电偶在低温下的响应要快于一般结点型热电偶。
一种用于低温下瞬态测温的薄膜热偶技术
【摘 要】
：
薄膜热电偶是采用高真空下离子溅射法制成的。从理论上对它的响应时间常数及动态测温误差进行了分析,并附有初步实验结果。从理论分析和实验结果看来,薄膜热电偶在低温下的响
【机 构】
：
上海交通大学低温研究和测试中心,上海机械学院低温生物工程研究室
【出 处】
：
低温与特气
【发表日期】
：
1993年1期
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