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光纤阵列是一种广泛应用于光纤通信系统和光纤传感网络中的光学器件，其纤芯位置误差严重影响器件的耦合效率，有必要进行精密检测。论文研究一种基于显微视觉技术的光纤阵列精密测量方法。采用数字显微系统获取包含至少两根光纤像斑的图像，通过二次多项式插值法实现光纤光斑边缘的亚像素级提取，利用最小二乘拟合法对光斑中心精确定位，从而计算出两根光纤之间的纤芯距。系统测量分辨率为16nm，重复测量标准差为23nm。该方法可实现光纤阵列间距的自动化、非接触、高精度测量。