【摘 要】
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对半导体晶圆制造至关重要的是细致、准确地沉积多层化学材料,以形成数千、数百万甚至在有些情况下是数10亿个晶体管,构成各种各样复杂的集成电路（IC）。在制造这些IC的过程中,
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对半导体晶圆制造至关重要的是细致、准确地沉积多层化学材料,以形成数千、数百万甚至在有些情况下是数10亿个晶体管,构成各种各样复杂的集成电路（IC）。在制造这些IC的过程中,每一步都要精确计量不同的化学气体,而气体使用量差异会很大,这是由不同的工艺所决定。在大多数情况下,这些步骤是高度自动化的。有趣的是,尚未自动化的竟然是一个非常简单的步骤,这就是“保持气体充足供应”。
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