【摘 要】
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介绍了一种基于扭转的新型低压电容式RF MEMS开关的设计.此开关在保留传统挠曲变形的基础上,引入了扭转变形,并利用IntelliSuite等软件进行仿真分析.理论分析和仿真结果表明:
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介绍了一种基于扭转的新型低压电容式RF MEMS开关的设计.此开关在保留传统挠曲变形的基础上,引入了扭转变形,并利用IntelliSuite等软件进行仿真分析.理论分析和仿真结果表明:与传统弯曲变形不同,在扭转变形中,变形对臂的厚度远比宽度敏感;在保留传统挠曲变形的基础上,增加了扭转变形,将有效降低驱动电压.理论分析还表明增长扭转臂、从动臂可使驱动电压明显下降.通过优化结构设计,在扭转臂、从动臂长为180 μm、120 μm,臂宽为5 μm,厚为1 μm,驱动电极面积为120 μm×120 μm时,仿真得到驱动电压为1.5 V.
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