用激光可以一步制成太阳能电池

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qf0909
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为了得到实用廉价的太阳能电池,光生伏打工业必须降低制造成本,提高产品率。一种解决办法是使用激光,使加工和退火一步完成。普通硅太阳能电池的制造是用离子注入形成”结,然后用高温炉退火消除晶格损伤,以恢复注入层的电活性。这是一种昂贵、耗能而费时的工艺。与高温炉半小时的退火时间相比,激光退火只需1微秒。更重要的是,激光加工对以取消昂贵的离子注入工序。激光能溶化表面层,驱动液相或汽相掺杂进入晶片或基片的晶格,形成p-n结,并对晶格的损伤退火。所有这些都一步完成。
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