【摘 要】
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本文从器件物理角度出发，深入研究了ＭＬＳ结构的Ｃ－Ｖ、Ｉ－Ｖ、界面、体内电荷、击穿等电学性能，并研制成功了一种新型的具有优良电性能的ＭＬＳ结构场效应晶体管，所得实验结果与理论相吻合。
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本文从器件物理角度出发，深入研究了ＭＬＳ结构的Ｃ－Ｖ、Ｉ－Ｖ、界面、体内电荷、击穿等电学性能，并研制成功了一种新型的具有优良电性能的ＭＬＳ结构场效应晶体管，所得实验结果与理论相吻合。
In this paper, from the physical point of view of the device, the electrical properties of C-V, I-V, interface, charge in the body, breakdown and so on of the MLS structure are deeply studied. A new type of MLS structure field effect transistor with excellent electrical performance The experimental results are consistent with the theory.
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