液相外延碲镉汞表面化学腐蚀研究

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应用不同浓度的溴甲醇溶液对液相外延碲镉汞表面进行化学腐蚀,并且测量了腐蚀速率。然后通过原子力显微镜及X射线光电子能谱分析了碲镉汞材料的表面状态。发现经过溴甲醇溶液腐蚀后,碲镉汞表面富碲现象较为严重而且表面粗糙度略有增加。 The liquid phase epitaxial HgCdTe surface was chemically etched with different concentrations of Bromide in methanol, and the corrosion rate was measured. Then, the surface states of HgCdTe materials were analyzed by atomic force microscopy and X-ray photoelectron spectroscopy. It was found that the surface of tellurium-mercury-cadmium Hg-rich Hg was more serious and the surface roughness slightly increased after the solution of brominated methanol was corroded.
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