论文部分内容阅读
采用直流磁控溅射在钢基体上制备了钽薄膜，研究了溅射气压和电流对钽膜相结构、表面形貌、硬度以及耐磨性的影响。XRD结果表明：钽膜主要由α（体心立方结构）＋β（四方体结构）混合相组成，在合适的实验条件下（0．65Pa、0．6A）可以得到单一的α相结构，并呈现（110）择优取向。随着溅射电流的提高，钽膜中β相减少，α相由（110）择优取向变成随机取向；压强的提高导致了α相减少，并且在0．8Pa时发生了部分β相转变，膜层逐渐转变成以β相为主的两相结构。AFM结果表明粗糙度随压强的增大而提高。随着气压和电流的提高，