【摘 要】
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起源于生物化学领域的自组装技术正被广泛地应用到了化学、材料、生物、电子、机械等不同的学科中。在MEMS和NEMS中，自组装作为一种新型的“自下而上”的微（纳）结构制备和装配技
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起源于生物化学领域的自组装技术正被广泛地应用到了化学、材料、生物、电子、机械等不同的学科中。在MEMS和NEMS中，自组装作为一种新型的“自下而上”的微（纳）结构制备和装配技术而得到积极的关注，并显示出良好的应用前景。在阐述自组装技术发展的基础上．介绍了该技术在MEMS中的典型应用，讨论一些待解决的关键问题，最后展望了自组装技术的发展趋势。
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