【摘 要】
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基于MEMS红外光源的稳定驱动需求,设计了一款高精度控温CMOS集成电路,具有对光源温度的实时监测与闭环控制功能,能够克服环境温度变化等干扰因素的影响,从而提高红外光源的温
【机 构】
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大连理工大学电信学部生物医学工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金(61874018),国家重点研发计划项目课题(2019YFB2005702),中央高校基本科研业务费资助(DUT19LAB33)
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基于MEMS红外光源的稳定驱动需求,设计了一款高精度控温CMOS集成电路,具有对光源温度的实时监测与闭环控制功能,能够克服环境温度变化等干扰因素的影响,从而提高红外光源的温度稳定性。采用0.35μm标准CMOS工艺完成了芯片的流片制造。测试结果显示,在该芯片驱动下,MEMS红外光源系统在10 ms内即可快速升温至450℃,且控温精度优于±1.5℃。该电路实现了温度快速调制、控温精度高、集成度高等优点,满足红外光源的稳定驱动需求。
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