SPM电场加工纳米结构的评价方法

来源 :天津大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yangzhaodsg

【摘要】

：

纳米结构形状特征及其相关参数的评价是扫描探针显微镜(SPM)加工面临的一个主要问题.文中对原子力显微镜(AFM)电场诱导硅氧化结构的部分形状特征进行了分析和讨论.借助传统评

【作者】

：

郭彤胡晓东胡小唐

【机构】

：

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

【出处】

：

天津大学学报

【发表日期】

：

2004年8期

【关键词】

：

诱导氧化纳米结构线宽纵横比扫描探针显微镜电场加工 induced oxidationnanostructureline widthaspect rat

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

纳米结构形状特征及其相关参数的评价是扫描探针显微镜(SPM)加工面临的一个主要问题.文中对原子力显微镜(AFM)电场诱导硅氧化结构的部分形状特征进行了分析和讨论.借助传统评价方法,结合纳米加工实际,提出了几个评价参数,并用于SPM加工方法的评价中,其中加工线宽是一个关键参数.与加工线宽相关的参数还包括直线度、线平行度、垂直度、倾斜度、加工高度及纵横比等.通过对AFM加工生成的线结构进行评价,说明了该方法的可行性.

其他文献

绝对值不等式解法小结

本文通过具体的例子,对中学数学中绝对值不等式的解法进行了总结。

期刊

绝对值不等式解集

基于Linux操作系统的光互连链路驱动程序设计

介绍了基于Linux操作系统，以光互连链路接口卡为网络硬件接口，编制并行计算环境的物理层链路的驱动软件的设计方法、程序结构等.利用此驱动程序已实现了两台运行Linux操作系统

期刊

光互连网络接口卡可加载内核模块LINUX操作系统驱动程序光互连链路程序设计Linuxoptical interconnection network

浅谈奥格威理论对我国广告策划活动的启示

奥格威的广告理论虽然较早被引入中国，但国内对其理论的研究大多仍停留在翻译与介绍奥格威的著作、言论的阶段。本文在研究前人成果的基础上，搜集相关的资料，结合中国的广告实践

期刊