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针对目前液晶面板和半导体行业对电子级硅烷的高纯度要求，采用自主研发的多个脱轻塔、脱重塔、多层吸附塔有机结合的方法，进行了粗硅烷精馏提纯技术的优化实验。结果表明，此方法能有效去除硅烷中各类有害杂质，使其硅烷的质量分数可达99.99998%以上，达到电子级硅烷的纯度要求。此方法具有高效，污染小等技术优势，有望使国内企业摆脱对进口电子级硅烷的依赖。