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本文主要介绍了厚膜工艺环形器的研制过程，解决了研制过程中几个关键问题和关键工艺技术。
厚膜工艺环形器的研制
【摘 要】
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本文主要介绍了厚膜工艺环形器的研制过程，解决了研制过程中几个关键问题和关键工艺技术。
【机 构】
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陕西华经微电子股份有限公司
【出 处】
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科教导刊（电子版）
【发表日期】
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2016年19期
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