【摘 要】
：
本文研究了单品－多晶硅Ｐ＋Ｎ结二极管基区载流子寿命与掺杂浓度、晶粒大小 的关系。在重掺杂 Ｐ型单晶硅上，用 ＬＰＣＶＤ法生长多晶硅薄膜，离子注入磷后， 形成 Ｐ＋Ｎ结。掺磷浓度从 ５．４×１０１４ｃｍ－３变化到 ６．０×１０１８ｃｍ－３，相应二
【机 构】
：
大连理工大学; 机械电子工业部东北微电子研究所; 机械电子工业部东北微电子研究所;
论文部分内容阅读
本文研究了单品－多晶硅Ｐ＋Ｎ结二极管基区载流子寿命与掺杂浓度、晶粒大小 的关系。在重掺杂 Ｐ型单晶硅上，用 ＬＰＣＶＤ法生长多晶硅薄膜，离子注入磷后， 形成 Ｐ＋Ｎ结。掺磷浓度从 ５．４×１０１４ｃｍ－３变化到 ６．０×１０１８ｃｍ－３，相应二极管的 基区少数载流子寿命从１．４×１０－１０Ｓ减少到７．５×１０－１３ｓ并且随着晶粒尺寸的增加， 寿命变大。实验结果和 Ｈｏｗａｒｄ Ｃ．Ｃａｒｄ等人对 Ｎ型多晶硅少数载流子寿命随掺 杂浓度、晶粒大小变化的理论相符合．
其他文献
针对多准则船型优选决策问题中评价指标不独立性问题,利用灰色系统理论对不完备信息的处理能力,以灰色理论为基础,建立了适用于船型方案选优的灰关联多目标综合评价模型,用于
利用上流式厌氧污泥床(UASB)技术,配合生物接触氧化法处理黄酒工业废水,处理效果好且运行费用低,既治理了污染,又获得优质燃料,具有较高的推广价值。
分析了抗生素生产废水的水质特征及污染因子,介绍了近年来国内外抗生素废水处理过程中采用的物化法、生化法及其他组合处理方法,指出了目前常用的处理方法中存在的问题。结果
采用目的抽样法,从云南3所新建本科师范院校中抽取60名学生,进行半结构式访谈。结果发现:学生的心理健康观具有突出的时代性和师范性。由于受文化背景、学生身心发展等多种主
新兴的建筑装饰行业正在崛起,室内装饰已从宾馆、饭店、公共设施等发展到居民住宅,形成了一个室内装饰的发展和装饰材料需求的巨大市场,并呈现出消费者对装饰材料需求的特点
慢性阻塞性肺疾病(COPD)是具有气道阻塞特征的慢性支气管炎和(或)肺气肿。其患病数多,病死率高,严重影响患者生活质量和劳动能力。在其发生发展中, 氧化机制同炎症机制一样起
侵袭性真菌感染已成为各种免疫受损宿主死亡的主要原因。近年来,抗真菌药物的治疗实践正不断朝着高效、广谱、低毒的方向发展,包括两性霉素B脂类复合物、新型三唑类药物,以及
介绍了养护剂养护混凝土的意义及其在国内外的发展应用情况,以期促进养护剂的应用。
<正> 概况 结核病是由结核分支杆菌引起的慢性传染病,可侵及许多脏器,以肺部受累形成肺结核最为常见。肺结核也是人类疾病中最古老的传染病之一,人类与之斗争了数千年,但至今
小麦是世界上最重要的粮食作物之一,在我国有着广泛的种植面积。赤霉病是小麦的一种主要病害,它具有较强的传染性,不仅会导致小麦减产甚至绝收,严重影响小麦种子质量,还会大量分泌多种毒素严重危害人畜健康。因此,小麦赤霉病籽粒的识别研究具有至关重要的意义。本文以小麦赤霉病籽粒高光谱信息提取技术及识别模型的研究为切入点,以图像处理技术、特征提取技术以及分类算法为手段,确证了利用高光谱成像技术实现小麦赤霉病快速