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基于直接边界元素法，提出一种边界电容矩阵概念，从而实现了三维互连电容的层次式提取算法．该算法将三维求解区域划分为若干小块．对每个小块分别计算其边界电容矩阵，再通过层次式合并算法便可得到全耦合互连电容矩阵．数值实验表明，本方法进行电容提取的速度比商业软件SpiceLink、虚拟多介质快速算法、区域分解法等均快一个数量级以上．