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近年来,微电子技术、计算机技术、新材料和生物医学工程的迅猛发展,极大地推动了微机电系统的发展.自1987年美国首届微机电系统发展研讨会召开以来,西方主要工业国家投入了巨资进行开发研究.微机电系统已在医疗、生物、精密仪器、环境保护、航空航天、通讯、国防军工等领域展现了十分广阔的应用前景,可望成为下世纪初的支柱产业.