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0前言伺服装置是数控系统的重要组成部分.伺服技术的发展建立在控制理论、电机驱动及电力电子等技术的基础上.上世纪50年代初,世界第一台NC机床的进给驱动采用液压驱动.由于液压系统单位面积产生的力大于电气系统所产生的力(约为20:1),而且惯性低、反应快,因此初期的NC系统的进给伺服装置大多采用液压驱动装置.当时的日本富士通公司计算机控制部(以后发展为FANUC公司)从麻省理工学院学习了第一台NC技术后,用电液脉冲电机作为数控机床进给驱动系统.