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介绍了扫描电子显微镜(SEM)信号探头研究的最新成果。针对常规扫描电子显微镜缺陷而开发的新型探头不仅改善了仪器成像质量，也极大地扩展了仪器的使用范围，简化了样品的准备工作过程。
扫描电子显微镜探头新进展
【摘 要】
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介绍了扫描电子显微镜(SEM)信号探头研究的最新成果。针对常规扫描电子显微镜缺陷而开发的新型探头不仅改善了仪器成像质量，也极大地扩展了仪器的使用范围，简化了样品的准备工
【机 构】
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合肥工业大学精密仪器系
【出 处】
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现代科学仪器
【发表日期】
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2001年1期
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