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文章报道了采用NO直接氧化制备氮化氧化物作绝缘层,制备高灵敏度MISiC肖特基二极管式高温气体传感器的技术.采用NO直接氧化法,改善了器件的界面特性.实验结果显示,采用该方法制作的传感器具有高响应灵敏度和良好的响应重复性.
MISiC高温氢气传感器研究
【摘 要】
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文章报道了采用NO直接氧化制备氮化氧化物作绝缘层,制备高灵敏度MISiC肖特基二极管式高温气体传感器的技术.采用NO直接氧化法,改善了器件的界面特性.实验结果显示,采用该方法
【机 构】
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华中科技大学电子科学与技术系,湖南科技大学信息与电气工程学院
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2003年5期
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