【摘 要】
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分析切割过程中不同工艺参数,如线锯速度、工件转速、工件进给量及线锯张紧力对切割力的影响,建立切割力与工艺参数的静态模型并进行简化,获得了进给量与动态切割力的模型,采
【机 构】
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西安理工大学机械与精密仪器工程学院,
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分析切割过程中不同工艺参数,如线锯速度、工件转速、工件进给量及线锯张紧力对切割力的影响,建立切割力与工艺参数的静态模型并进行简化,获得了进给量与动态切割力的模型,采用PID控制策略设计了切割力控制器。Matlab环境下仿真和试验表明:设计的控制器可良好地控制切割过程的切割力;对比切割完成的晶片表面粗糙度,该控制器可实现切割过程的稳定性,提高切片表面质量。
The influence of different process parameters such as wire saw speed, workpiece rotation speed, workpiece feed rate and wire tension on cutting force was analyzed. A static model of cutting force and process parameters was established and simplified. The feed rate With the dynamic cutting force model, the cutting force controller is designed by PID control strategy. The simulation and experiment under the Matlab environment show that the designed controller can control the cutting force of the cutting process well. Compared with the finished wafer surface roughness, the controller can realize the stability of the cutting process and improve the surface quality of the slice.
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