论文部分内容阅读
对离子注入分布杂质浓度模拟的不同模型进行了简短的回顾，介绍了在ＳｕｐｒｅｍⅣ中采用的双Ｐｅａｒｓｏｎ分布模型。通过对Ｂ＾＋及Ａｓ＾＋在不同剂量和能量下对硅中的注入，采用ＳＩＭＳ进行浓度分布测试，对双Ｐｅａｒｓｏｎ模型作了评估。
B^＋,As^＋离子注入工艺模拟模型的比较
【摘 要】
：
对离子注入分布杂质浓度模拟的不同模型进行了简短的回顾，介绍了在ＳｕｐｒｅｍⅣ中采用的双Ｐｅａｒｓｏｎ分布模型。通过对Ｂ＾＋及Ａｓ＾＋在不同剂量和能量下对硅中的注入，采用ＳＩＭＳ进行浓度分布测试，对双Ｐｅａｒｓｏｎ模型作了评估。
【机 构】
：
上海先进半导体制造有限公司,复旦大学电子工程系
【出 处】
：
微电子学
【发表日期】
：
1999年6期
其他文献
磁性元件的集成化有望彻底解决功率变换器的小型化问题。文中介绍和评述了微制造技术在集成化变压器与电感器制造中的应用，讨论了相关磁性材料的性能与选择、元件的结构及其制
研究了测试开发系统中ＣＡＤ逻辑模拟验证结果向ＡＴＥ的移植问题，提出并采用了元测试语言的策略。把ＰＡＮＤＡ工作站的模拟验证结果转换成元测试语言的图形格式，并把转换后的数据以时序波形的形式显
介绍一种ＤＣ－ＤＣ门控两电压输出转换电路。该电路具有电路结构简单、设计构思新颖的特点。无需调试即可达到高稳定的两组ＤＣ电压输出，且功率变换效率较高。另外，该电路的过载保护设计简单
讨论了和Ｃ语言描述半规整电路版图结构的基本方法，总结出由基本单元拼接出更大单元的基本步骤，形成了较为通用的半规整电路版图编译器的编制方法。采用这一方法，在设计好某一特定
采用优化设计和模拟试验方法解决了ＳＨ０１２保护式脉冲电源变换器大功耗和小体积、两路输出差异大的矛盾，实现了保护功耗以及在工作温度范围内的高精度，提高了电路性能。采用二次集成工
德国国会大厦随着它的修复和改造的完成，正逐渐成为新首都柏林民室的象征。在此，设计师诺曼福斯特展示了一个寻求历史与未来、旧与新、民主与政权相平衡的很好的设计实例。
将串并电容组合结构，极性反转开关电容网络和推挽开关电容网络和ｂｕｃｋ，ｂｏｏｓｔ，Ｃｕｋ及ｂｕｃｋ－ｂｏｏｓｔ等传统ＤＣ－ＤＣ变换器相结合，构成一系列新的变换器拓扑结构。理论分析和实验结果秀助于提高具有悬殊电压变化比的ＤＣ－ＤＣ变换