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自半导体技术迈入0．25μm时代之日起，针对如何、何时，从何处着手以及为何将整合量测（IM）技术应用于甚大规模集成（VLSI）制造等问题已引发了大量的行业性发展推测。长久以来，各种重大国际会议都始终将整个议程都用于探讨整合量测技术前沿的开发研究，然而（也有一些例外），半导体工业似乎一直处在研究、技术开发、可行性研究、小规模试验计划和前瞻性商业分析的循环往复之中。整合量测技术已得到全行业的关注，在工程技术方面也付诸了较大的努力，且该技术也表现出明显的强劲发展势头，那么为什么总也看不到大规模的应用呢？