采用EPMA确定微粒表面薄膜厚度的方法研究(英文)

来源 :四川大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:dachenggege
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本文探讨了一种采用电子微探针(EPMA)技术无损确定微粒表面薄膜厚度的方法.EPMA实验采用蒙特卡洛方法模拟,研究的样品为镀有Ni薄膜的空心玻璃微球和厚的Ni平板.采用蒙特卡洛方法获得了在不同入射电子能量和薄膜厚度情况下的k比例因子,空心玻璃微球上的Ni薄膜厚度可由k比例因子曲线得到,并讨论了误差等问题. In this paper, a method of non-destructive determination of the film thickness on the surface of microparticles using the electron microprobe (EPMA) technique was investigated.The Monte Carlo method was used to simulate the EPMA experiment.The samples studied were hollow glass microspheres coated with Ni thin films and thick Ni plates The k factor was obtained by Monte Carlo method at different incident electron energies and film thickness, and the Ni film thickness on the hollow glass microspheres was obtained from the k - factor curve, and the error and other problems were discussed.
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