检定自准直光管的自动光电干涉仪

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光电或目视自准直光管常用来测量反射表面的小偏转角。自准直光管质量的基本特性是灵敏度及测量角度精度。为了确定自准直仪的误差,可采用各种产生小角度的方法。例如:楔形反射镜、偏转光学光楔、透镜补偿器、机械式(正弦或正切)以及干涉式小角度发生器等。楔形反射镜用安装在同一物体上的一组平 Photoelectric or visual self-collimator is often used to measure the small deflection angle of the reflective surface. The basic characteristics of the quality of self-collimating light pipe is the sensitivity and accuracy of measuring angle. In order to determine the error from the collimator, a variety of methods to create a small angle can be used. Examples are wedge mirrors, deflected optical wedges, lens compensators, mechanical (sinusoidal or tangent) and interferometric low-angle generators. Wedge mirrors are mounted on the same object as a flat set
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