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随着集成电路在全球经济中扮演的角色日益重要，集成电路关键设备已成为集成电路发展过程中的战略焦点。本文通过对目前集成电路设备的国内外市场分析，在提醒相关产业部门注意集成电路设备的重要性之外，更重要的希望认清形势，找好国内集成电路设备发展的突破点，提高本身素质的同时，确定发展战略。逐步缩小同国外的差距，在一定时期内使国内集成电路设备的技术水准有所突破。