论文部分内容阅读
某MEMS惯性传感器组件在130 mm弹载试验后出现无输出功能失效,经电性能测试、工艺结构分析、有限元力学仿真等分析。组件的失效主要是由于内部主控板受力不均出现了翘曲变形、断裂,最终导致组件失效。根据失效机理,优化了主控板的版图及灌封工艺方法,使主控板的受力均匀性和一致性得到了控制,从而有效解决了失效问题。