精密和超精密加工中粉尘微粒的影响与防止

来源 :湖南工程学院学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:boy1000cn
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阐述了粉尘微粒在精密和超精密加工中对加工精度和表面质量的影响,及如何减少粉尘微粒的影响,以保证精密和超精密加工的加工精度和表面质量.并讨论了精密加工和超精密加工中洁净区域气流组织的形式.
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