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微系统技术是以微纳尺度理论为支撑,微集成工艺为基础,并通过功能模块集成,实现单一或多种用途融合的综合性前沿技术。应用微系统技术对加速光电系统性能的全面提升、有效降低成本具有重要意义。以2019年度微系统领域关键技术进展为基础寸论目前光电领域微系统技术的难点问题,为该领域研究人员提供参考。
浅析2019年度微系统关键技术进展
【摘 要】
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微系统技术是以微纳尺度理论为支撑,微集成工艺为基础,并通过功能模块集成,实现单一或多种用途融合的综合性前沿技术。应用微系统技术对加速光电系统性能的全面提升、有效降
【机 构】
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光电信息控制和安全技术重点实验室
【出 处】
：
光电技术应用
【发表日期】
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2020年6期
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